旋干機(jī)利用旋轉(zhuǎn)離心力的方式進(jìn)行去離子水沖洗、熱氮氣烘干，DI水電阻率監(jiān)控、氮氣加溫、防靜電控制以及系統(tǒng)潔凈化處理來達(dá)到高潔凈度的片子清洗效果。設(shè)備由主機(jī)、相互獨立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮氣控制系統(tǒng)，以及PLC控制和操作系統(tǒng)組成。
　　良好的旋干機(jī)是集流體、流體控制、精密機(jī)械、潔凈化處理、新材料、計算機(jī)控制、半導(dǎo)體工藝技術(shù)為一體的綜合系統(tǒng)技術(shù)整合。這些技術(shù)和單元所采用的關(guān)鍵技術(shù)及解決途徑主要體現(xiàn)在以下方面：
　　1、潔凈化處理技術(shù)
　　良好的旋干機(jī)屬高潔凈度要求下的“微特征”控制設(shè)備。因此，設(shè)備的潔凈化處理是系統(tǒng)內(nèi)各功能單元、部件、材料、加工工藝等眾多環(huán)節(jié)所要考慮的重要問題。
　　2、大功率無刷電機(jī)驅(qū)動
　　大功率無刷電機(jī)是設(shè)備的核心部件之一，國內(nèi)廠家共同合作開發(fā)、研制600W無刷伺服電機(jī)及配套驅(qū)動器，轉(zhuǎn)速范圍zui大3000rpm，解決設(shè)備的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動技術(shù)。
　　3、沖洗工作腔體采用耐腐蝕不銹鋼分體焊接加工而成。重點解決了：腔體成型加工工藝；不銹鋼表面防護(hù)與焊接技術(shù)；惰性處理工藝。
　　4、轉(zhuǎn)軸氮氣密封技術(shù)
　　片子在旋干機(jī)沖洗甩干腔內(nèi)工作時，要有一個密閉而潔凈的環(huán)境空間，轉(zhuǎn)軸處的密封即是隔離與腔體之間聯(lián)接的通道。
　　5、去離子水控制
　　根據(jù)相關(guān)指標(biāo)、要求，在給定壓力、流量的條件下，必須達(dá)到要求的沖洗水流效果。同時可對水的電阻率值進(jìn)行實時監(jiān)控測量，以判斷和給定相關(guān)工藝參數(shù)和工藝時序。